laatst gewijzigd 02/03/2006

Vakcode: wb1442
Vaknaam: Introductie Micro systemen

Het betreft een college
ECTS studiepunten: 3

Faculteit der Werktuigbouwkunde en Maritieme Techniek
Docent(en): Goosen. J.F.L. , Gastdocenten Tel.: 015-27 86500
Trefwoorden:
microsysteem technologie, MEMS, micromachining, sensoren en actuatoren, optische componenten. fabricage technieken.		 Cursusjaar: MSc 1e jaar
Periode: 1A / 1B
Coll.uren p/w: 2
Andere uren:
Toetsvorm: schriftelijk
Tentamenperiode: 1B
(zie jaarindeling )
Voorkennis:
Wordt vervolgd door:
Uitgebreide beschrijving van het onderwerp:
Introductie tot micro-systemen met typische afmetingen tot 1mm en elementen met afmetingen van enkele micrometers. Bespreking van typische toepassingen zoals sensoren, actuatoren, structurele componenten en signaal bewerking. Een overzicht van de fabricage technieken, betrouwbaarheid, modellering, etc. die komen kijken bij het ontwerp van micro-systemen. En verder de mechanica, electrische velden, optica, stromingsleer, etc. zoals van toepassing op deze zeer kleine systemen en afwijkt van systemen op meer traditionele schaal.
College materiaal:
  • Uitgaven tijdens college
Referenties vanuit de literatuur:
Opmerkingen (specifieke informatie over tentaminering, toelatingseisen, etc.):
Doel:

De student kan:

  1. list the applications of micro systems and describe their weak and strong points

  2. use scaling laws to calculate and predict behaviour of specific micro systems and compare and evaluate different concepts and systems when subjected to miniaturization

  3. describe several basic mechanical, electrical, magnetic, optical, thermal and fluidic principles, calculate how some these effects scale and explain how they are used in micro systems

  4. list and describe the basic manufacturing techniques used for micro systems and their specific strengths and weaknesses

  5. design a basic manufacturing sequence resulting in a specific structure using photolithography and micromachining process steps

  6. describe the problems involved in the assembly of these very small systems and explain how some of these can be solved

  7. list the functions of a package, several packaging solutions and describe the problems associated with packaging related to specific micro system needs

  8. describe the difficulties in testing and measuring of micro systems and the special equipment and structures involved in this

  9. list and describe some of the most common failure mechanisms of micro systems and how they can be influenced

  10. describe the difficulties involved in the design of micro systems and list the tools available to assist in this process

  11. compare different possibilities of physical principles, manufacturing techniques, packaging options, etc. in a specific micro system and/or situation and formulate a choice

Computer gebruik:
Practicum:
Ontwerp component: College is deels gewijd aan het ontwerpen van micro systemen
Percentage ontwerponderwijs: 50%